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日本爱发科ULVAC的前身为日本真空技术株式会社,成立于1952年,在拥有近2000名员工,长期以来,作为追求真空极限的真空技术,生产的真空装置及周边机器,材料等涉及液晶电视,太阳能电池,半导体,能源,环保,电子,电器,金属,机械,汽车,生物,化学,视频,医药以及大学,研究所等广阔领域